主要技术指标：
20微米探头扫描范围：XY方向20μm， Z方向1.6μm；分辨率：XY方向0.2nm ，Z方向0.01nm；
150微米探头扫描范围：XY方向150μm， Z方向4.5μm；分辨率：XY方向2nm ，Z方向0.1nm。
功能/应用范围：
可以在大气/液体环境下对各种材料进行纳米区域的物理性质包括形貌进行探测；
